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射频连接器之BAW原理

发布日期:2019-01-07   作者:   来源:   编辑:   访问量:51

上次小天带您了解了有关射频连接器测试设备的滤波器SAW原理,这次小天又带大家了解射频连接器的滤波器BAW原理。

BAW filter里是垂直传播。从名字也可以看出,SAWsurface, 沿着表面传播,BAWbulk,物体内传播。BAW filter的最基本结构是两个金属电极夹着压电薄膜(Quartz substrate2GHz下厚度为2um),声波在压电薄膜里震荡形成驻波(standing wave)

BAW filter常用的压电材料.石英(quartz)作为常见的压电材料,在高电压和高压力的情况下表现出线性反应,但还没有合适的方法把石英做成薄膜depositSi衬底上。合适的BAW压电材料需要high electromechanical coupling coefficientlow electromechanical losshigh thermal stability,还要符合IC工艺技术。目前最常用的BAW压电材料有AlN(aluminum nitride)PZT(lead zirconate titanate)ZnO(zinc oxide)

BAW所需的制造工艺步骤是 SAW 10倍,但因它们是在更大晶圆上制造的,每片晶圆产出的 BAW 器件也多了约4倍。即便如此,BAW的成本仍高于 SAW。随着技术的演进, BAW可能会逐步替代SAW

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